石英谐振压力传感器补偿算法

全温区精度显著提升

通过对比三种学习算法对石英谐振压力传感器进行温度补偿，其中多元多项式回归模型实现了优异的压力预测精度。

Yao, Bin · Yanbo, Xu · Zhang, Wenjun · Yuzhen, Guo · 张增星 · Liu, Jianwei · Chenyang, Xue

Micromachines 2023

参数信息

计算残差

<0.008 %

温度范围

-10-40 °C

技术优势

残差低于0.008%

MPR模型在宽温区内将压力预测残差控制在满量程的0.008%以内，满足高精度测量需求。

无需硬件改动

仅利用已有的AT切和AC切石英输出频率作为输入，通过软件算法实现补偿，便于集成到现有信号处理链路。

支持实时自动补偿

开发了智能自动补偿和实时处理系统，提高了在线校准和大规模工业化的效率。

应用场景

• 压力传感与温度补偿：在宽温区内实现高精度压力测量，无需额外温度控制。
• 石英MEMS传感器：通过算法补偿提升石英MEMS传感器的温度稳定性。
• 工业在线校准：自动补偿系统可提高在线校准和大规模生产线的效率。