近场微波探针

非接触定量测低介电

该探针通过腔扰动理论实现低介电常数材料的非接触定量测量，并可线扫描检测导电缺陷，相对误差低于0.5%。

Peng, Cuiling · 陈晓龙 · Zhan, Jinsong · Zhuo, Chen · 年夫顺 · 宦惠庭

NDT and E International 2024

参数信息

相对误差

<0.5 %

技术优势

误差低于0.5%

基于定量的电磁腔扰动理论提取介电常数，对多种低介电常数材料实测相对误差小于0.5%。

非接触测量

采用近场微波探针，无需接触样品即可测量介电常数，适用于对接触敏感的场合。

能找亚表面缺陷

线扫描模式下通过分析中心频率位移，可同时检测表面和亚表面导电缺陷。

用实验室材料造

探针由实验室常见材料制造并经有限元优化，便于复现和集成。

应用场景

• 半导体材料检测：在半导体产线上非接触快速筛查低介电材料的介电常数和内部缺陷。
• 微波无损检测：在不接触样品的情况下，用近场微波信号检测表面和亚表面导电缺陷。
• 介电测量：用探针的频率响应定量提取介电常数，无需标准接触式仪器。
• 高速通信器件：为高速通信器件中的低介电常数材料提供快速非接触质量检测。