零偏压高响应
在4H-SiC表面形成蜂窝状陷光微结构,显著抑制紫外反射并增强吸收,使自供电探测器在无外加偏压下即可高效工作。
Huifan, Xiong · 陈劼实 · Song, Lihui · 杨德仁 · 皮孝东
Advanced Science 2026
蜂窝状微结构通过增加光程和多重内反射抑制反射,使紫外吸收显著增强。
探测器无需外加偏压即可工作,简化电路设计并降低功耗。
采用光电化学刻蚀法,成本低、可选择性刻蚀,适合大规模生产。