大口径共焦干涉仪

多参数同机共基准测量

该仪器在同一台设备上实现大口径光学元件面形、超长焦距和超大曲率半径的高精度共基准测量，兼顾检测精度、稳定性与效率，为大中型光学元件检测与加工精度提升提供有效手段。

赵维谦

Light: Advanced Manufacturing 2024

参数信息

PV

46.0 nm

超长焦距测量相对标准偏差

0.019 %

relative standard deviation

0.0036 %

技术优势

采用机械相移技术，适用于大口径重载参考镜，实现高稳定干涉测量