高频超声振动雕刻微透镜阵列

锐边精密成形

该微透镜阵列在钢模具上实现锐边高质量加工,解决了传统金刚石车削在锐边处的刀具-工件相对位移问题,为玻璃模压提供高精度模具。

Zhang, Canbin · Cheung, C. F. · 梁晓亮 · Bulla, Benjamin

Journal of Manufacturing Processes 2023

参数信息

表面粗糙度(算术平均高度Sa)
<10 nm
形状误差
1 μm

技术优势

锐边不崩碎

平滑工具轨迹消除了金刚石车削中锐边处产生的刀具-工件相对位移,从而保住锐边。

精度达亚微米级

加工出的微透镜阵列形状误差在1 μm以内,满足高精度光学模具需求。

粗糙度低于10 nm

表面算术平均高度Sa低于10 nm,提供镜面级表面质量,减少后续抛光工序。

兼容多种阵列形状

除圆形微透镜阵列外,还成功加工出四边形和六边形微透镜阵列,扩展了应用范围。

应用场景