分辨率优于0.077nm
通过四重多普勒频移实现八倍光学细分精度，在保持紧凑体积的同时达到亚纳米级位移测量能力。
Yunfei, Yin · Xihan, Sun · Yong, Liu · Shasha, Yin · 赵建科 · 马臻 · Bo, Geng · Wei, Liu · Li, Zhaohui
Optics and Lasers in Engineering 2026
四重多普勒频移使光学细分倍数达到八倍，理论分辨率优于 0.077 nm。
整机尺寸仅 110×85×50 mm³，便于集成到空间受限的精密设备中。
200 μm 行程内线性误差优于 ±5 nm，10 nm 步进测量误差优于 ±1 nm。