分割瞳孔混合构型色散物镜

测量误差降至17.7%

通过非对称光束角控制，在保持同轴鲁棒性的同时，将最大测量误差降至传统单轴构型的17.7%以下。

Dai, Jiacheng · Qinyang, Li · 卢文龙 · Jiang, Xiangqian · 常素萍

Optics and Laser Technology 2026

参数信息

SPD信号强度提升倍数

2-5 ×

最大测量误差

<17.7 %

技术优势

信号强度提升2-5倍

偏置反射棱镜组件主动统一入射光束角并阻挡近轴光线，使光谱功率分布（SPD）信号强度提升2至5倍，同时显著抑制背景杂散光。

误差降至17.7%以下

通过非对称光束角控制增强离焦灵敏度，在4 mm量程标定中最大测量误差降低到传统单轴构型的17.7%以下，突破精度瓶颈。

同轴鲁棒性保持

与双轴构型不同，DPHC通过全局倾斜而非旋转对称滤波实现非对称光束角控制，因此保持同轴鲁棒性，便于集成到现有系统。

应用场景

• 精密表面形貌测量：高精度表面轮廓测量，误差低于传统方案，适合精密表面形貌分析。
• 半导体晶圆检测：晶圆表面形貌和缺陷检测需要高精度、无损伤测量，DPHC提供低误差扫描方案。
• 三维轮廓成像：快速三维轮廓成像需要高效线扫描和高信号质量，DPHC提升信号强度并抑制杂散光。
• 微流控通道检测：微流控通道内部形貌测量要求高分辨率和低误差，DPHC在同轴结构下实现精度提升。