MEMS陀螺馈通抑制模块

馈通抑制提升21倍

采用混合频率激励，无需后端解调电路即可实现馈通干扰频域分离，大幅降低零偏波动。

Hongjie, Lei · 李宏生

Micromachines 2025

参数信息

零偏稳定性

0.3118 °/h

角度随机游走

0.2443 °/h/√Hz

标度因数波动降低倍数

21 ×

技术优势

无需解调电路

利用静电力与电压的二次关系，以非谐振频率激励、谐振频率检测，在频域直接分离馈通信号，省去后端解调电路，简化系统。

消除馈通零点

实验幅频响应曲线中由馈通干扰引入的零点被完全消除，改善了陀螺的检测特性。

标度因数稳定度提升

在频率裂解变化时，力平衡检测标度因数波动降低21倍，提升了陀螺的测量一致性。

应用场景

• 惯性导航：消除馈通干扰提升零偏稳定性，可直接集成IMU提升导航精度。
• 精密测量：稳定标度因数波动降低21倍，用于高精度惯性测量时重复性更好。
• 工业物联网传感器：无需后端解调电路可简化传感器节点设计，适合工业物联网的批量部署。
• 无人机姿态控制：提高陀螺在振动环境下的稳定性，为无人机姿态控制提供可靠的角速度信号。