选择性密封压电MEMS扬声器

低频声压提升

利用毛细管效应自动填充PDMS密封悬臂梁间隙，解决低频漏气和共振频率附近异步振动问题。

余洪斌

Microsystems and Nanoengineering 2024

参数信息

处声压级提升

4.9 dB

共振频率附近声压级

约17.5 dB

处总谐波失真

0.728 %

技术优势

100 Hz-16 kHz频段声压级响应与初始状态几乎相同