皮米级灵敏度
采用光学锁相外差干涉和对称结构，实现对测试质量六自由度运动的皮米级灵敏度测量，为空间引力波探测等精密定位应用提供新方案。
徐心 · Jinsong, Liu · Henglin, Mu · 李燕 · 谈宜东
IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement 2024
采用两个激光器的相位锁定来产生双频外差光源，无需塞曼效应或声光调制器等额外调制器件。
系统包含三个测量干涉仪和一个参考干涉仪，采用对称设计和偏振复用结合差分波前传感，能够同时测量测试质量的六个自由度。
在保持皮米级灵敏度的同时，系统提供200 μm的平移范围和600 μrad的倾斜范围，兼顾了高精度和大动态范围。