基于SLSP的应变传感器

高灵敏微小应变检测

利用金属螺旋结构激发的SLSP对环境的高敏感性，本传感器通过谐振频率偏移精确检测金属与非金属材料的微小应变，为高精度应变测量提供新思路。

Hangyu, Li · 杨晓庆 · Jun, Wang · Jiahao, Zou

IEEE Sensors Journal 2023

参数信息

频率偏移（最大可测应变下）

613 MHz

频率偏移（0.01 mm应变下）

37 MHz

技术优势

能测微小应变

SLSP对环境高度敏感，0.01 mm的应变就能引起约37 MHz的频率偏移，可用于高精度测量。

适用于多种材料

传感器贴近金属或非金属材料表面即可工作，应用范围广。

灵敏度高

大应变下频率偏移显著，1.3 mm应变对应613 MHz偏移。

应用场景

• 结构健康监测：贴于结构表面监测微小形变，提前预警损伤。
• 高精度应变测量：检测0.01 mm级应变，满足高精度测量需求。
• MEMS传感器：基于SLSP的紧凑结构可集成到MEMS器件中。
• 柔性应变传感：传感器可贴合多种材料表面，适用于柔性应变检测。