无泄漏超净输送
摒弃动态密封结构，从根源上消除液体泄漏与污染风险，专为半导体超净工艺打造。
Liu, Mingxiao · 胡亮 · Rui, Su · Xiaodong, Ruan
Sensors and Actuators, A: Physical 2024
阀芯由永磁体非接触驱动，没有动态密封点，从结构上消除了泄漏和污染的可能。
新模型同时考虑轴向和横向振动，能更全面地预测阀芯稳定性，避免只考虑轴向导致的失稳风险。
通过理论计算揭示了参数对稳定性的影响，为磁驱动阀的设计提供了直接参考，可指导参数选择。