边缘约束夹层湿度传感器

响应提升

芯片级硅微桥传感器，专为片上集成设计

Yu, Xiang · 陈向东 · 丁星 · Tang, Kun · Liu, Fang · Jiaqi, Lu

Sensors and Actuators, B: Chemical 2024

参数信息

灵敏度

109.97 µV/%RH

湿滞

0.6 % RH

线性范围

11.3–97.3 % RH

技术优势

灵敏度大幅提升

边缘约束使夹层结构在垂直方向的膨胀变形被有效放大，从而获得更高的湿度灵敏度。

湿滞小，重复性好

传感器表现出小的湿度湿滞（0.6% RH），在湿度循环中读数一致性好。

宽范围线性响应

在 11.3–97.3% RH 的宽湿度范围内保持良好的线性，便于标定和信号处理。

应用场景

• 湿度监测模块：直接集成到电路板，实时测量环境湿度。
• 微环境湿度检测：芯片级尺寸适合狭小空间内的湿度检测。
• 环境感知：传感器将湿度变化转化为电信号输出。