熔石英高效激光抛光

中频误差降至20 nm

高速往复扫描工艺在保持熔池寿命的同时有效抑制温度梯度，实现高中频误差同步消除。

Min, Tang · Ma, Honglin · 蒋勇 · 杨亮 · Yan, Gao · Xiangyu, Wang · Jie, Yang · Lei, Zhu · Zhang, Qi

Applied Surface Science 2026

参数信息

扫描速度阈值

9 m/s

温度梯度

50 K/mm

高频空间误差

2 nm

中频空间误差

20 nm

技术优势

温度分布如线激光

扫描速度超过9 m/s时，扫描方向温度分布等效于线激光，中心80%跨度内梯度低于50 K/mm，避免局部过热。

高频误差压至2 nm

在低温度梯度窗口内，高频空间误差从0.4 μm降低至2 nm，表面粗糙度大幅改善。

中频误差压至20 nm

工艺同时抑制中频误差，从3 μm降至20 nm，满足精密光学元件对中频波纹的严格要求。

应用场景

• 高功率激光光学元件：消除中频波纹，提升元件抗激光损伤阈值。
• 光学表面精密加工：作为最终精加工工序，达到纳米级表面精度。
• 熔石英元件制造：替代传统抛光，直接去除中频误差。