GaTiZnO透明导电膜

200 W沉积电阻率最低

通过磁控溅射沉积参数调控，该薄膜在200 W下获得最优晶体质量与光电性能，作为透明电极可替代现有材料。

Lu, Zhou · Sheng Yan, Guo · Quan, Xie

Surface Engineering 2024

参数信息

可见光平均透过率

87.02 %

电阻率

5.863 × 10⁴ Ω·cm

品质因数

1.241 × 10⁴ Ω⁻¹·cm⁻¹

Direct optical bandgap

3.501 eV