双自由度位移传感器

皮米级双轴测量

结合光纤光栅法布里-珀罗干涉仪与PDH技术,一个传感器同时实现线性与角位移的皮米级分辨率测量。

Wu, Junhui · 徐志林 · Yixiang, Zhang · 梁浴榕 · Sun, Qizhen · 周泽兵

IEEE Sensors Journal 2023

参数信息

线性位移分辨率
0.01 nm
角位移分辨率
0.49 nrad

技术优势

双轴同时高分辨

同一传感器同时测量线性与角位移,避免使用两套独立系统。

解调精度高

PDH技术提供高解调分辨率,从窄带宽FFPI中提取微小频移。

测量可靠

解调值与预设值匹配良好,证明传感器在实际测量中准确可靠。

应用场景