双金属微电解催化剂

加速GaN氧化

首次将非铁金属离子引入电芬顿体系，通过双金属协同显著提升GaN的催化氧化效率。

Chen, Zhijun · 潘继生 · Weijun, Deng · 阎秋生 · Jiaxi, He · Yangting, Ou · Song, Fan

Ceramics International 2025

技术优势

加速催化离子再生

利用原电池原理促进Fe³⁺向Fe²⁺转化，维持高浓度活性催化离子。

Fe²⁺/Ce³⁺协同最佳

Fe²⁺与Ce³⁺的组合在实验中展现出最显著的协同氧化效果。

应用场景

• 化学机械抛光：直接用于GaN晶圆的电芬顿CMP浆料，提高抛光速率。
• GaN衬底加工：为GaN衬底的平坦化提供更高效的氧化途径。
• 半导体材料氧化：通过双金属催化提升GaN等半导体材料的氧化效率。