超声辅助微槽阵列

高一致阵列

通过超声辅助电化学微加工实现径向排列微槽阵列的高一致性与低表面粗糙度，克服传统电化学加工中流动场不均导致的精度与一致性难题。

Wang, Minghuang Huan · Shuangqing, Guan · Hang, Zhou · Shixin, Zhu · 张若冲 · Zheng, J. · 姚春燕

International Journal of Advanced Manufacturing Technology 2025

参数信息

内槽宽

0.25 mm

外槽宽

0.24 mm

槽斜率

8 %

表面粗糙度

0.3 µm

技术优势

尺寸一致性提高

超声辅助改善了加工间隙内的流场均匀性，使得相同参数下加工的多个微槽尺寸偏差显著减小。

表面质量良好

优化参数下加工出的微槽阵列表面粗糙度约为0.3µm，满足许多功能表面的要求。

槽壁陡直

槽斜率小于8%，表明槽壁近乎垂直，有利于后续填充或流动控制。

应用场景

• 表面微结构加工：为材料表面加工出规则微槽阵列，实现减阻、润滑等功能。
• 航空航天部件：用于航空发动机叶片等部件的表面微结构加工，改善散热或流动特性。
• 汽车关键部件：用于汽车关键部件的表面微织构，如缸套内壁，以降低摩擦。
• 微纳制造：提供一种可扩展的微/纳加工方法，用于制备高精度微槽阵列。