均匀沉积，接触角139.5°
通过水穿孔金属板电极介质阻挡放电，在环氧树脂表面实现均匀的疏水改性，解决了现有低温等离子体技术仅适用于小面积对象的局限。
Jialiang, Huang · Zhu, Yu · Shijia, Guo · Liang, Guo · Weicheng, Yu · Akram, Shakeel · Zhu, Xi · 崔行磊 · 方志
Applied Surface Science 2023
水穿孔金属电极设计和仿真优化保证了低流量下的均匀放电，薄膜在整块环氧树脂板上均匀沉积，接触角标准差仅±2.5°。
与现有大面积处理装置相比，所需工作气体流量降低40–60%，显著节约运行成本。
装置的处理效果相比现有大面积设备提高16%，表明放电均匀性和薄膜质量更好。
沉积的薄膜含有Si-O-Si和Si-(CH3)x等疏水硅基团，使水接触角从未处理表面的约74.6°提升至139.5°，表面从亲水转变为强疏水。