定位误差小于 0.5 mm
将图像定位与特征识别结合，近场扫描中兼顾高定位精度与信号宽带窄带特征提取。
Yanhua, Peng · 徐辉 · Hangyi, Zhou · Ziheng, Jiang · Dongdong, Shen · 崔朔 · 苏东林
IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement 2023
探头移动最小步进精度达 0.1 mm，能够精确控制扫描位置。
移动的一致性和稳定性误差小于设定值的 1%，保证多次测量结果可重复。
基于小波变换和自相关变换识别宽带与窄带特征，能获得对应特征的功率分布。