金合金MEMS悬臂梁

高温存储寿命可预测

该悬臂梁通过引入广义累积温度参数，实现了不同温度下寿命的准确预测，且金合金相比纯金具有更好的热稳定性。

张雨龙 · 孙前文 · Liu, Huiliang · 刘泽文

Journal of Microelectromechanical Systems 2023

技术优势

寿命可预测

通过广义累积温度参数建立了变形与寿命之间的数学关系，可在不同温度下预测悬臂梁寿命。

热稳定性更优

金合金悬臂梁的热稳定性优于纯金，更适合用作悬臂梁材料以保证长期可靠性。

补偿温度影响

采用广义累积温度参数将时间与温度的影响统一描述，适用于各种MEMS器件的寿命评估。

应用场景

• MEMS器件：为MEMS器件提供可靠的执行与传感单元，提升高温环境下的稳定性。
• 高温存储寿命预测：利用GAT参数预测悬臂梁在高温存储下的寿命，辅助器件可靠性设计。
• RF MEMS开关：金合金悬臂梁可用于RF MEMS开关，其热稳定性优于纯金，延长开关寿命。