相位倾斜旋转干涉测量法

无需额外光学结构

该算法能够在存在随机倾斜与旋转振动的情况下，仅利用传统干涉仪精确恢复相位分布，无需增加任何光学硬件。

Yuan, Yufeng · Jianhao, Ruan · Rao, Mengqi · Zhang, Xinyu · 殷跃红

Optics and Laser Technology 2024

技术优势

无需额外光学结构

通过相位-倾斜-旋转迭代算法即可实现振动下的相位恢复，传统干涉仪硬件不变，降低系统成本。

抗随机振动能力强

能同时处理随机倾斜和旋转，避免了传统移相干涉对严格条件的依赖。

应用场景

• 晶圆表面形貌测量：在气浮托盘等动态支承下实现晶圆面形振动不敏感测量。
• 动态干涉测量：为存在随机倾斜/旋转的环境提供无需隔振的相位解算方案。
• 光学精密检测：将传统干涉仪升级为抗振动态测量工具，降低检测门槛。