高精度气体检测
采用电磁驱动级联折叠梁结构，实现高反射率与高平行度精细调谐，适用于精密气体检测。
Zhuang, Wang · Jiahui, Wang · Hanpei, Xu · Wen, Quan · 李东玲 · 李金华
IEEE Sensors Journal 2024
30 mV即可实现1.6 μm反射镜位移，降低驱动功耗并便于集成。
在位移过程中保持平行度精细度超过300，确保滤波器光学性能稳定。
位移调谐精度达22.7 nm/mA，调节误差低于20 nm，优于现有设计。
驱动信号与反射镜位移呈高线性相关（R²=0.9998），便于精确波长控制。