CrAlN-Cr防护涂层

高温抗粘附

专为硅模具设计，解决玻璃热压成型中化学键合导致的严重粘附问题。

Yang, Gao · Hao, Lv · Kang, Yang · Gong F.

Applied Surface Science 2026

具体参数

热载荷测试时长

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技术优势

高温不粘

涂层在10小时热载荷测试后表面仍保持致密，未出现微裂纹，有效阻止了硅与玻璃的化学键合。

复型精度高

在优化工艺参数下，玻璃微柱阵列的复型误差极小，实现了高品质微结构成型。

可重复使用

重复热压实验表明，涂层在多次使用后性能退化缓慢，模具使用寿命延长。

应用场景

• 微流控模具：提供高温下不粘附的模具，用于压印玻璃微流道。
• 玻璃微结构制造：实现硅模具直接压印玻璃微结构，避免化学键合导致的缺陷。
• 抗粘附涂层：涂层阻隔硅与玻璃的界面反应，从源头解决粘附难题。
• 柔性模具保护：保护硅模具表面，防止高温压印过程中的机械和化学损伤。