频差降至 87 mHz
一种基于指间电极实现模式检测与激光修调的无涂层熔融石英微壳谐振器，修调后频差极小，可无损组装于电极基底。
Lu, Kun · Xi, Xiang · Sun, Jiangkun · 士研 · 肖定邦 · 吴学忠
IEEE Sensors Journal 2024
利用叉指电极通过静电力激励和检测无涂层谐振子的振动模式，无需先沉积金属层，避免了电极材料对谐振特性的干扰。
对无涂层谐振子进行激光修调，调频后再进行清洗和涂覆，因此不会损伤电极基底上的金属层。
经过激光修调后，谐振子的频率分裂成功降低到 87 mHz，表明极高的模式匹配精度。