高温磨损率最低
采用混合溅射技术制备的TiN涂层，在25–500 °C范围内磨损率最低，兼具高附着力和低残余应力。
Gu, Jiabin · 李建勇 · Liu-He, Li · Jie, Jin · Hai-Peng, Zhang
Surface Technology 2023
在25、300、500 °C下磨损率均最低，适合高温摩擦工况。
附着力达HF1级，临界载荷约82.5 N，涂层与基体结合牢固。
在三种溅射工艺中残余应力最低，可减少涂层开裂倾向。
混合溅射工艺兼具高沉积速率，有望提高生产效率。