10 Hz减振99.55%
气浮轴承与混合控制策略协同,在0.5 Hz以下天然频率下同时抑制内共振,为精密设备提供无接触、无摩擦的稳定隔离。
Tianyi, Li · Shilong, Guo · Zhiwei, Lin · 赵勃 · 谭久 · Chenglong, Yu
International Journal of Mechanical Sciences 2026
系统在X、Y、Z三个方向均实现低于0.5 Hz的固有频率,突破传统隔振器在超低频段的局限。
在10 Hz处提供−47 dB的隔振效果,几乎完全阻断该频率的振动传递。
混合控制策略有效抑制超低频气浮隔振系统固有的内共振问题,提升隔振性能。
采用带锥形均压微孔节流器的气浮轴承,确保稳定无接触运行,避免传统气浮轴承的套筒-活塞倾斜问题。