双金属点叉指换能器

全寄生响应抑制

在不损失Q值和机电耦合系数的前提下,通过双金属点结构同时消除横向谐振与间隙区寄生谐振,实验验证几乎全部寄生被抑制。

Workie, Temesgen Bailie · Xiuwen, Bi · Lingqin, Zhang · Shen, Junyao · Quhuan, Shen · 鲍景富 · Hashimoto, Ken-ya

IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control 2025

技术优势

把两类寄生响应一起压掉

主金属点抑制常见横向谐振,靠近汇流条的次金属点与短虚拟电极负责抑制间隙区寄生模式,实现一次性覆盖绝大多数杂散响应,无需牺牲其他指标。

Q值和机电耦合系数不受影响

该抑制机制只消除寄生模式,不对主谐振的储能与机电转换造成可察觉的影响,使滤波器的插损和带宽特性得到保留,因而在提升频谱纯度的同时无需重新优化整个设计。

实验上几乎全部杂散被抹掉

通过周期性三维有限元仿真优化几何参数,并在实际谐振器上验证了几乎无杂散的电导响应,证明该结构并非仅停留在仿真层面,可在真实器件中稳定工作。

应用场景