水平绝热定向耦合器

波长180nm宽带低串扰

通过残余应变管理实现准无屈曲，解决了水平ADC开关因屈曲导致性能退化的问题，使2×2 MEMS开关具备高可扩展性。

Yinpeng, Hu · Jiayue, Zhu · Yunzhi, Liu · Linyan, Lyu · Ye, Lu · 马倩 · Li, Huan · Zhang Gong · 时尧成 · 戴道锌

Microsystems and Nanoengineering 2026

参数信息

带宽

180 nm

开关速度

~2 μs

开关阵列规模

64 × 64

技术优势

180 nm宽带低串扰

水平ADC设计降低了波导屈曲，使器件在180 nm波长范围内保持低损耗和低串扰，摆脱了屈曲导致的性能退化。

微秒级开关速度

开关速度约2微秒，满足光交换对快速响应的要求。

扩展至64×64

采用标准硅光工艺和2×2单元结构，成功构建64×64 Benes开关阵列，证明了可大规模集成能力。

应用场景

• 光子集成开关：用于替代传统电开关，实现低损耗光路由。
• 光通信交换：用于数据中心光交换，满足宽带和快速响应。
• AI算力光互连：为AI算力提供低功耗、可重构的光互连。
• 硅光MEMS：利用标准硅光工艺降低大规模制造复杂度。