齿轮爪式转子

泄漏降两成

新型齿轮型结构在爪式转子间形成扭转间隙，有效抑制气体泄漏，容积效率显著提升。

Pan, Shiyang · 王君 · Zhao, Xin · Ren, Chunji · Yuanjie, Xin · 王增丽

Vacuum 2023

参数信息

容积效率

77.4 %

气体泄漏速度

274.020 m/s

气体泄漏速度降低幅度

21.18 %

容积效率提升幅度

7.9 %

技术优势

泄漏降两成

齿轮型结构在转子间形成扭转间隙，有效阻碍气体从高压腔向低压腔泄漏。

容积效率提升

泄漏减少后，相同时间内能抽走更多气体，容积效率从 69.5% 提高到 77.4%。

应用场景

• 真空泵设计：直接采用齿轮爪式转子，减少泄漏、提高效率，免去复杂密封结构设计。
• 真空设备：替换传统爪式转子，提升真空设备性能，降低运行能耗。
• 半导体真空系统：为半导体工艺提供更可靠的真空环境，减少泄漏对工艺的干扰。