25分钟原子级平滑
一种可在25分钟内修复单晶MgO微米级损伤并实现原子级平滑表面的等离子体处理策略，适用于多种晶面。
Yuxi, Xiao · Zhang, Yongjie · Wenjing, She · Zhan, Zejin · 杨军 · Guo, Liang · 邓辉
Journal of Materials Processing Technology 2025
等离子体诱导原子迁移和重新键合，快速修复损伤，无需长时间高温退火。
修复后表面达到原子级平滑，Sa粗糙度在1 μm × 1 μm范围内低于0.1 nm，满足高精度光电器件需求。
PEAR策略对(100)、(110)、(111)晶面均能修复激光诱导沟槽，不受MgO晶体各向异性限制。