MEMS摆线质谱分析器

高分辨高传输

借助平面叠层设计和电场优化，实现宽质量范围内离子完美聚焦与高效分离。

Wang, Haobin · Han, WANG · Chen, Shen · 盛杰 · Xu, Chunjing · 刘友江 · 陈池来

Microsystems and Nanoengineering 2026

具体参数

分辨率
{'zh': '>99', 'en': '>99'}
离子检测效率
{'zh': '>92', 'en': '>92'} %
半高全宽
{'zh': '0.03', 'en': '0.03'} Da
半高全宽
{'zh': '0.40', 'en': '0.40'} Da
质量范围
{'zh': '2-50', 'en': '2-50'} Da
电场扇区尺寸
{'zh': '32.60 × 41.10 × 6.85', 'en': '32.60 × 41.10 × 6.85'} mm
电极对数
{'zh': '83', 'en': '83'}
工作真空
{'zh': '1 × 10-3', 'en': '1 × 10-3'} Pa

技术优势

分辨率够高

通过优化电场扇区尺寸与电极排布密度，抑制电场畸变，从而在整个2-50 Da质量范围内保持分辨率大于99。

传输效率高

在宽质量范围内离子检测效率超过92%，表明离子损失很少，有利于降低样品需求量。

轻离子分得开

对于H₂⁺和He⁺等轻离子，FWHM约0.03 Da，能够清晰分辨质量非常接近的离子。

重离子也不糊

对于Ar⁺和CO₂⁺等较重离子，FWHM约0.40 Da，仍能提供足够的质量分辨能力。

应用场景