高掺氟ZnO薄膜

霍尔迁移率20.7

首次实现飞秒激光超掺杂高浓度掺氟氧化锌薄膜，突破传统掺杂方法的氟源瓶颈。

Liu, Yaoyao · Shuming, Jiang · Zhou, Xu · Xia, Chengtao · Wu Q. · Ma, Xiangyang · Lu, Chen · Yao, J. H. · 许京军

Surfaces and Interfaces 2023

具体参数

霍尔迁移率

20.7 cm²/V/s

技术优势

F 原子百分比最高 8.3 at.%

载流子浓度提高 4 个数量级

电阻率降低 3 个数量级