非晶铟镓氧紫外探测薄膜

739 A/W 高响应

通过铟掺杂提高氧空位浓度,将器件光电导增益提升至739.2 A/W,非晶结构可通过溶胶-凝胶法低温制备,使下一代紫外探测器性能更高、制造更简。

Zhang, Yupeng · Ruiheng, Zhou · Xinyan, Liu · Zhengyu, Bi · 阮圣平 · 马艳 · 李鑫 · Liu, Caixia · 陈玉 · Zhou, Jingran

Sensors 2024

参数信息

响应度
739.2 A/W
光暗电流比
2.8e3
铟含量
0.4

技术优势

响应度提升近一个量级

得益于非晶结构与铟掺杂引入的高浓度氧空位,光生电子浓度大幅提升,器件在同等光照下产生更高光电流。

暗电流抑制不牺牲

光暗电流比达到 2.8×10³,说明高增益同时暗电流仍被有效抑制,适合弱紫外信号检测。

工艺简单易放大

采用溶胶-凝胶法即可制备非晶薄膜,无需高真空或高温外延设备,有利于大面积、低成本集成。

应用场景