边缘宽度可调微半球谐振器

频率分裂降至 1.09 Hz

通过调节边缘宽度从结构设计上抑制频率分裂，大幅降低静电修调门槛。

Jian, Dunxiang · 士研 · Xi, Xiang · 肖定邦 · 吴学忠

Journal of Microelectromechanical Systems 2025

参数信息

频率分裂

1.09 Hz

频率分裂降低倍数

8.4

边缘宽度（最优）

0.7 mm

技术优势

频差降 8.4 倍

仅通过改变边缘宽度，频率分裂从 0 mm 时的 9.16 Hz 降至 0.7 mm 时的 1.09 Hz，无需增加工艺步骤。

修调门槛大降

结构上先降低频差，所需静电修调量大幅减小，甚至可能免去修调。

飞秒激光可调

边缘宽度用飞秒激光直接刻蚀调整，工艺精确可控，便于定制频差。

应用场景

• MEMS 陀螺仪：从结构上抑制频差，省去高门槛静电修调，直接提升陀螺性能。
• 惯性导航传感器：频率匹配好的谐振子是导航级精度敏感器件的关键部件。
• 微纳制造：核心工艺是飞秒激光刻蚀边缘宽度，属于微纳加工的典型应用。
• 物联网传感器：低噪声、频率匹配的谐振子适合集成到微型化物联网传感节点。