微金字塔结构柔性电容压力传感器

灵敏度更好

该传感器采用微金字塔结构介电层，通过优化微观结构提升可压缩性，从而获得更好的灵敏度，为高性能柔性压力传感器设计提供了依据。

Jiantao, Zeng · 王勇 · Xiaoyang, Liu · Fang, Yike · 梁利华 · Yuanxiang, Zhang

2023

参数信息

灵敏度

1.47×10⁻⁵ kPa⁻¹

响应范围

0-100 kPa

技术优势

灵敏度更高

金字塔型微结构在五种结构中灵敏度最高，达到 1.47×10⁻⁵ kPa⁻¹。

响应线性

不同微结构类型在 0-100 kPa 压力范围内均表现出线性响应。

应用场景

• 柔性压力传感：提供高灵敏度介电层微结构设计，改善传感器性能。
• 电子皮肤触觉传感：金字塔微结构提高可压缩性，增强触觉灵敏度。
• 可穿戴健康监测：线性响应和高灵敏度适用于微弱压力信号检测。