液面基准干涉仪

抗微振高精度

以液体表面替代传统参考镜，并借助广义非均匀相移算法抑制液面微振动，从而在动态环境下实现高精度干涉测量。

Yuan, Yufeng · Ong, S. K. · Yuehong, Yin · Yueqi, He · Junyang, Qiu

CIRP Annals - Manufacturing Technology 2024

技术优势

抗微振动

通过广义非均匀相移算法抑制液面微振动，使干涉测量在动态环境下仍能保持高精度。

无需参考镜

直接利用液体表面作为参考面，省去传统干涉仪中的参考镜，简化系统结构。

应用场景

• 精密干涉测量：以液面为参考实现高精度测量，可替换传统参考镜干涉系统。
• 机械振动监测：通过算法抑制液面微振动，适用于存在机械振动的动态测量环境。