科技单元

Jiamin, Yang · 杨志强 · Zhao, Junqing · 高宇飞 · 杨剑群 · 荆宇航

Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films 2026

参数信息

速控步能垒降低

0.2 eV

技术优势

揭示协同机制

混合前驱体将速控步能垒降低约0.2 eV，解释了实验上共吸附提高沉积效率的原因。

澄清速率限制关系

阐明了速控步骤与沉积效率的关系，为优化MOCVD工艺参数提供理论依据。