水汽阻隔可调
聚酐与氮氧化硅交替的多层膜兼得水汽阻隔、柔性和加工性,为生物可吸收电子器件提供可靠封装方案。
Hu, Ziying · Guo, Hexia · An, Dongqi · Wu, Mingzheng · Hannah, Oh · Yue, Wang · Zhao, Mengjia · Li, Shuo · Yang, Quansan · Ji, Xudong · Li, Shupeng · 王波 · Tran, Phuong · Ghoreishi-Haack, Nayereh S. · Kozorovitskiy, Yevgenia · Huang, Yonggang · 李瑞 · Rogers, John A.
Advanced Materials 2024
多层结构有效阻隔水分子渗透,保护器件在体内长期稳定工作。
薄膜可随器件弯折,适用于柔性电子和植入部位变形。
旋涂和PECVD均为低温工艺,避免高温损坏有源器件。
通过调节聚酐和氮氧化硅层的厚度和组成,可以控制封装膜的降解速率,适配不同植入时长需求。