单帧条纹分离法

透明元件亚微米测量

用快速迭代滤波辅以神经网络，单帧即可分离透明光学元件上下表面重叠条纹，完成面形重建。

Chen, Ting · 74499582 · 张祥朝 · Lang, Wei · Chen, Yunuo · 徐敏

Advances in Manufacturing 2024

参数信息

测量精度（RMSE）

65 nm

技术优势

一张图就能测

采用单帧条纹分离，避免了多帧采集和相移带来的复杂性与耗时。

上下表面分得开

利用快速迭代滤波粗分，再用神经网络解决信息泄漏和不完全分离，实现上下表面条纹的精确分离。

重建精度达 65 nm

仿真与实验证明方法有效且稳健，面形重建精度达 65 nm RMSE。

应用场景

• 光学检测：用于透明光学元件面形的快速检测，提高在线测量效率。
• 精密测量：实现亚微米级面形重建，满足精密加工与质量控制需求。