降低亚表面损伤
采用超声振动辅助AFM加工，通过周期性接触-分离运动，显著降低切削力、应力和亚表面损伤深度，实现磷化铟晶体的低损伤去除。
Yue, Liu · 李琛 · Hu, Yuxiu · Zakharov, O. V. · 崔海龙 · 吴明涛 · 闫永达 · 耿延泉
Materials Today Communications 2024
采用适当的振动参数，振动辅助AFM加工的切削力显著减小，有利于降低加工损伤。
振动辅助加工降低了加工区域应力集中，从而减小材料损伤。
振动辅助加工实现了更低的亚表面损伤深度，有利于提高晶体加工质量。
振动辅助加工将切屑从堆积在刀具前方转变为均匀流向两侧，有利于排屑。