互补叉指悬臂声传感器

声压灵敏度 923.7 nm/Pa

该传感器采用互补叉指悬臂结构，在共振频率下实现高灵敏度声压检测，可显著提升光声光谱系统的气体检测灵敏度。

Chongyue, Yan · 王巧云 · Tianyu, Li · Zhiqi, Gao · Yinji, Chen · Ziheng, Zhu · Li, Zhigang · Dongxiao, Hou · Liu, Qiang

Photoacoustics 2025

具体参数

气体检测灵敏度

3.02 pm/ppm

技术优势

在 1010 Hz 共振频率下声压灵敏度高达 923.7 nm/Pa

在 1 kHz 处信噪比为 72.2 dB，最小可检测压力为 16.4 μPa/Hz¹ᐟ²