双驱龙门复合定位法

高速高精同步

将定位过程拆分为高速移动段与高精定位段，配合同步方案，兼顾快速响应与精密控制。

孙维超 · Jianing, Liu · 高会军

IEEE Transactions on Automation Science and Engineering 2024

技术优势

兼顾快速与精确定位

复合控制策略将高速移动段与高精定位段结合，在抑制未建模动态和外部扰动的同时，实现快速响应与精密控制。

提高横梁定位精度与平衡

基于变换后的模型，提出针对双驱横梁的同步方案，在不牺牲定位性能的前提下保持横梁平衡。

面向实际应用

该方法只需要常规的动力学模型和参数，无需特殊传感器或复杂建模，即可在工业场景中获得高精度、快速且稳定的平面运动，对生产效率和产品质量至关重要。

应用场景

• 高精龙门平台控制：提升龙门平台点对点定位的速度与精度，且无需复杂模型和参数。
• 高端制造运动系统：为高端制造设备提供快速、精确、稳定的平面运动，从而提高生产效率和产品质量。
• 半导体装备定位：满足半导体装备对高速、高精度定位的需求，可用于晶圆加工和检测等环节。
• 精密点对点运动：通过复合控制和同步方案实现快速且精确的点对点运动，适用于各种精密定位任务。