阻尼削弱达10倍
无需改变器件尺寸,仅通过优化孔径几何即可大幅削弱阻尼,并可预测。
Jia, Zeyu · 王玉皞 · 王小旭 · 徐翔 · Mengqi, Sun · 白剑 · 黄维 · 卢乾波
Microsystems and Nanoengineering 2025
实验证实穿孔可使阻尼降低超过一个数量级，从而提升器件灵敏度和带宽。
两种互补模型覆盖几乎所有穿孔率，预测误差始终小于10%，可直接用于设计优化，减少试错。
梯形孔比圆柱孔在更小的面积牺牲下实现更强的阻尼降低，有利于电容、声学和光学MEMS器件充分利用芯片面积。