正交相位标定靶

浅景深仍标定

用激光直写工艺将二元编码图案刻在玻璃基底上，通过傅里叶变换精确定位相位特征点，解决双远心相机在±0.9mm浅景深下难以标定的问题。

朱江平 · Xiaopeng, Luo · He, Zhoumiao · Yin, Guigang · Zhou, Pei

IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement 2025

参数信息

重投影误差

0.08 pixels

三维测量精度

0.002 mm

景深范围

0.9 mm

技术优势

离焦也能标定

采用正交相位靶，即使离焦也保持图像对比度，仍可提取相位特征点。

精度够用

标定后重投影误差优于0.08像素，三维测量精度优于0.002mm，满足显微三维测量需求。

应用场景

• 精密测量：用双远心相机高精度标定后，对微结构进行三维尺寸测量。
• 微纳制造：标定后对微纳加工样品进行在线三维形貌检测。
• 柔性器件检测：标定后测量柔性器件表面的三维形变。