AlScN S0模式谐振器

Q值达1362

该谐振器通过优化谐振腔和侧向声边缘反射器，在保持高声学反射的同时，实现了高品质因数和干净频谱。

是全

Microelectronics Journal 2024

参数信息

IDT-Floating resonator Q

853, k²eff

IDT-IDT resonator Q

1362, k²eff

技术优势

具有干净频谱