三角冷梁克努森力组件

峰值为矩形的2.4倍

采用三角截面冷梁与大高宽比设计的微纳组件,能大幅提升稀薄气体中的克努森力,为MEMS/NEMS提供更强的驱动力。

Wang, Xiaowei · 张志军 · 刘旭辉 · Peng, Hu · Han, Daoman

International Communications in Heat and Mass Transfer 2024

参数信息

克努森力峰值增幅
142 %

技术优势

力提升一倍半

通过将冷梁截面从矩形改为三角形并设置约20°的倾角,克努森力峰值可提高142%,为执行器提供更强驱动力。

高宽比越大越好

采用大高宽比的冷梁是获得较大克努森力的必要条件,为设计高效微纳驱动器提供了明确指导。

靠近基板可增效

在一定环境压力下,适当减小冷梁与基板的距离可以增强克努森力,为器件集成提供了一种实用的提升手段。

应用场景