可见光吸收率97.7%
在硅表面制备尖锐微锥阵列,通过光陷效应将可见光吸收率从41%提升至97.7%,并伴有非晶SiO₂辅助层。
杨瑞华 · Hongxin, Wang · Tang, Yiping · 78278893 · 李明 · 蔡玉奎
Surfaces and Interfaces 2026
微锥阵列通过光陷效应将光多次反射,使可见光吸收率从41%提升到97.7%,同时非晶SiO₂层起到辅助作用。
最佳激光能量密度为0.25 J/cm²,且表面粗糙度参数Spc和Sdr与吸收率高度正相关,可直接用于工艺优化。
飞秒激光直接加工,无需掩模或化学处理,工艺简单,适合批量生产。