超精密线性导轨

面形差优于100nm

通过磁流变抛光实现导轨部件精度，使测量机整体运动误差与部件精度直接关联，为超精密装备提供关键执行部件。

Lai, Tao · Liu, Junfeng · Fulei, Chen · Li, Zelong · Guan, Chaoliang · Li, Huang · Xu, Chao · Hu, Hao · Dai, Yifan · Chen, Shangyong · Zhongxiang, Dai

Journal of Intelligent Manufacturing 2024

参数信息

整体运动精度

100 nm

面形PV差

100 nm

技术优势

精度可预测

基于多体理论的几何误差模型将整体运动精度与各部件精度关联，可计算误差权重，预测测量结果。

加工可验证

磁流变抛光可实现导轨等关键部件所需精度，并成功集成到超精密测量机中。

测量可信赖

通过设计样机、DUI轮廓仪和Zygo干涉仪交叉测试同一光学面，面形PV差优于100nm，验证模型的正确性。

应用场景

• 精密测量设备：用于超精密测量机定位与扫描，保证亚微米级测量精度。
• 超精密加工：提供可制造的导轨部件，支撑超精密加工装备运动轴。
• 高精度机床：赋予机床运动轴低误差导轨，提升加工面形精度。
• 智能装备：通过精度分配方法设计装备，提高智能制造装备的精度。