面形精度RMS 7.42 nm
通过超精密磨削、中心供液快速抛光与磁流变修形工艺链，实现大口径碳化硅非球面镜的高效高精度加工。
钟波 · 吴薇 · 王剑 · Zhou, Lian · Hou, Jing · Ji, Baojian · Deng, Wenhui · Wei, Qiancai · Wang, Chunjin · 许乔
Micromachines 2023
面形误差RMS 7.42 nm，粗糙度Rq 0.33 nm，满足空间光学系统要求。
整个加工周期仅约216小时，为大批量生产提供可能。
揭示了SiC表面凹坑缺陷的产生与抑制机制，实现低缺陷加工。
采用计算全息片进行高阶非球面补偿干涉检测，保证面形精度。